二次离子质谱(SIMS)技术详解：分析与应用二次离子质谱（Secondary Ion Mass Spectrometry，SIMS）是一种用于深度分析样品表面和亚表面结构的分析技术；它通过将样品表面溅射出二次离子，然后利用质谱仪分析这些离子